intelliSCAN IV 30
Apertur 30 mm
Winkelgeber Galvanometer­scanner analoger Positionsdetektor
Optik
Wellenlängen­bereiche
(Standard)
Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme:
YAG- & Faserlaser,
Laser für den grünen Wellenlängenbereich,
UV Laser,
DUV Laser,
CO2 Laser

Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings, sowie Coatings für Kurzpulsanwendungen und polarisationserhaltende Coatings im Portfolio
Max. Laserleistung
(Standardsysteme, 100% Betrieb)
Typischer Auslenkwinkel ±0,35 rad (opt.)
Bildfeldgröße
(1064 nm, f = 160 mm)
Fiber adapter nein
Abweichung des Auslenkwinkels < 5 mrad
Abweichung von der Nullposition < 5 mrad
Dynamic
Anzahl installierter Tunings
Typisches Tuning SCANahead,
Fast-Vector-Tuning
Schleppverzug 0 ms (SCANahead),
0,32 ms (Fast-Vector-Tuning)
Beschriftungs­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
Positionier­geschwindigkeit
(f = 160 mm)
Schreibgeschwindigkeit
(F-Theta-Objektiv, f = 160 mm)
hohe Schreibqualität
gute Schreibqualität
Sprungantwort
(ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag)
1% Vollausschlag 1,10 ms
10% Vollausschlag 3 ms
Genauigkeit
Wiederhol­genauigkeit
(RMS)
< 2 µrad
Positions­auflösung
(max.)*
20 bit *
Nichtlinearität < 0,7 mrad / 44°
Temperaturdrift
Offset < 15 µrad/K
Gain < 25 ppm/K
8 hour drift
(after 30 min warm-up)
Offset < 100 µrad
Gain < 100 ppm
24 hour drift
(after 3 h warm-up)
Offset < 100 µrad
Gain < 100 ppm
* 20 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 0,7 µrad für Winkelbereich ±0,35 rad), <br> Auflösungen besser als 16 Bit (11 µrad) nur zusammen mit SL2-100-Schnittstelle
Electrics / Control
Regelung Galvanometer­scanner digitale Reglerkarte
Ansteuer­schnittstelle
(Alternativen)
digital SL2-100,
digital XY2-100 Enhanced
automatische Erkennung
Erweiterte Diagnosemöglichkeiten ja (iDRIVE)
Versorgungs­spannung 48 V DC, max. 5 A
Mechanik
Scan-Achsen 2-Achsen-System
Gehäuse­varianten Standard: Scan-Kopf
Stecker­positionen Strahleintrittsseite,
alternativ gegenüber Strahlaustritt
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(206,9 x 140 x 180) mm3
with water cooling
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
ca. 5,5 kg
Strahlversatz
Sonstige Ausstattung
Wasserkühlung ja
Luftkühlung ja
Optionen Objektive mit optimierten Montagesätzen
Sonstige Spezifikationen
Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)
(206,9 x 140 x 180) mm3
with water cooling
Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)
ca. 5,5 kg
Strahlversatz
Arbeits­temperatur 25 °C ± 10 °C
Abweichung des Auslenkwinkels < 5 mrad
Abweichung von der Nullposition < 5 mrad
Skew
Sprungantwort (100% Vollausschlag)
Typical Optical Configurations
Applikatonen
Typische Anwendungen Photovoltaik-Fertigung,
Lasermikrobearbeitung, Display-Fertigung,
Tiefengravieren,
Bohren,
Medizintechnik