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intelliSCAN III 14 | |||
Apertur | 14 mm | ||
Winkelgeber Galvanometerscanner | analoger Positionsdetektor | ||
Optik | |||
Wellenlängenbereiche (Standard) |
Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme: YAG- & Faserlaser, Laser für den grünen Wellenlängenbereich, UV Laser, DUV Laser, CO2 Laser Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings, sowie Coatings für Kurzpulsanwendungen und polarisationserhaltende Coatings im Portfolio |
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Max. Laserleistung (Standardsysteme, 100% Betrieb) |
440 W @ 1064 nm | ||
Typischer Auslenkwinkel | ±0,35 rad (opt.) | ||
Bildfeldgröße (1064 nm, f = 160 mm) |
95 mm x 95 mm | ||
Fiber adapter | nein | ||
Abweichung des Auslenkwinkels | < 5 mrad | ||
Abweichung von der Nullposition | < 5 mrad | ||
Dynamic | |||
Anzahl installierter Tunings | bis zu 3 | ||
Typisches Tuning | Sharp-Edge-Tuning | ||
Schleppverzug | 0,15 ms | ||
Beschriftungsgeschwindigkeit (f = 160 mm) |
2,0 m/s | ||
Positioniergeschwindigkeit (f = 160 mm) |
5,0 m/s | ||
Schreibgeschwindigkeit (F-Theta-Objektiv, f = 160 mm) |
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hohe Schreibqualität | 480 cps | ||
gute Schreibqualität | 680 cps | ||
Sprungantwort (ausgeregelt auf 1/1000 Vollausschlag) |
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1% Vollausschlag | 0,45 ms | ||
10% Vollausschlag | 3,0 ms | ||
Genauigkeit | |||
Wiederholgenauigkeit (RMS) |
< 2 µrad | ||
Positionsauflösung (max.)* |
18 Bit * | ||
Nichtlinearität | < 0,9 mrad / 44° | ||
Temperaturdrift | |||
Offset | < 15 µrad/K | ||
Gain | < 25 ppm/K | ||
8 hour drift (after 30 min warm-up) |
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Offset | < 100 µrad | ||
Gain | < 100 ppm | ||
24 hour drift (after 3 h warm-up) |
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Offset | < 100 µrad | ||
Gain | < 100 ppm | ||
* 18 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 2,8 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad), <br /> Auflösungen besser als 16 Bit (11 µrad) nur zusammen mit SL2-100-Schnittstelle
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Electrics / Control | |||
Regelung Galvanometerscanner | digitale Reglerkarte | ||
Ansteuerschnittstelle (Alternativen) |
digital SL2-100, digital XY2-100 Enhanced |
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Erweiterte Diagnosemöglichkeiten | ja (iDRIVE) | ||
Versorgungsspannung |
Verfügbare Varianten: 30 V DC, max. 6 A 48 V DC max. 6 A |
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Mechanik | |||
Scan-Achsen | 2-Achsen-System | ||
Gehäusevarianten |
Standard: Scan-Kopf alternativ: Modul (ohne Gehäuse) |
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Steckerpositionen |
Strahleintrittsseite, alternativ gegenüber Strahlaustritt |
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Größe (L x B x H) (Standardgehäuse) |
(175 x 118 x 147) mm3 | ||
Gewicht ohne Objektiv (Standardgehäuse) |
3 kg | ||
Strahlversatz | 16,42 mm | ||
Sonstige Ausstattung | |||
Wasserkühlung | optional | ||
Luftkühlung | optional | ||
Optionen |
Objektive mit optimierten Montagesätzen, Leichtgewichtsspiegel, applikations- und kundenspezifische Tunings |
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Sonstige Spezifikationen | |||
Größe (L x B x H) (Standardgehäuse) |
(175 x 118 x 147) mm3 | ||
Gewicht ohne Objektiv (Standardgehäuse) |
3 kg | ||
Strahlversatz | 16,42 mm | ||
Arbeitstemperatur | 25 °C ± 10 °C | ||
Abweichung des Auslenkwinkels | < 5 mrad | ||
Abweichung von der Nullposition | < 5 mrad | ||
Skew | |||
Sprungantwort (100% Vollausschlag) | |||
Typical Optical Configurations | |||
Applikatonen | |||
Typische Anwendungen |
Mikrostrukturierung, Markieren, Schweißen, Bohren, Rapid Prototyping, Rapid Tooling, Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie, Processing on the fly |
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