Dynamik Z-Achse

Schleppverzugskompensation

Es ist möglich, Schleppverzüge von xy-Achsen und z-Achse zu synchronisieren. Somit kann dem 'Hinterherlaufen' der z-Achse bei hoch dynamischen Systemen wie dem intelliSCAN oder excelliSCAN begegnet und das Risiko von unterschiedlicher Spot-Größen im Baufeld verringert werden.

 

Schleppverzugskompensation

Schleppverzugskompensation

 

Ihr Nutzen

  • Reduktion der Spotvarianz auf Baufeld
  • Bessere Oberflächenqualität

RTC-Befehl

  • set_timelag_compensation

 

Directmove3d

Da sich die z-Achse kontinuierlich mit der Fokusebene ausrichten muss, während der Scanner von einer Endposition zur nächsten springt, entsteht bei größeren Abständen zwischen den Punkten eine Trägheit der z-Achse. Mit Directmove3d wird die Position der z-Achse am gewünschten Vektor antizipiert und direkt auf die neue Fokusebene eingestellt.

 

Directmove3d

Vergleich: mit oder ohne Directmove3d

 

Ihr Nutzen

  • Verringerte Verzögerung bei Sprüngen mit höherer Distanz

RTC-Befehl

  • DirectMove3D
RTC Features
Regelung und Prozesssteuerung
Belichtungsstrategien
Prozessmonitoring

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