Diffraktive optische Elemente (DOE)

Bei zahlreichen Anwendungen können die Scan-Ergebnisse durch Strahlformung, mithilfe des Einsatzes von diffraktiven optischen Elementen (DOEs), verbessert werden.  

DOE sind optische Materialien, auf denen feine Mikrostrukturen aufgebracht sind, die einen einfallenden Laserstrahl in verschiedene Ausgangsstrahlen aufteilen oder dessen Strahlprofil verformen können.

Multi-Spot-DOEs ermöglichen beispielsweise die parallele Bearbeitung von mehreren Werkstücken mit einem einzigen Scan-Kopf, um den Durchsatz zu erhöhen und die Laserleistung voll auszunutzen. Eine andere Anwendung sind Top-Hat-Strahlformungs-DOE, die die Prozessqualität verbessern, dank einer konstanten Bestrahlungsstärke im Brennpunkt.

Das Unternehmen HOLO/OR, ein Schwesterunternehmen von SCANLAB, bietet eine große Auswahl diffraktiver optischer Standardelemente an. Diese können grob in Strahlformung (etwa Top-Hat, M-Shaper, Ringgenerator, Liniengenerator, Homogenisator), in Strahlzerlegung (wie Multi-Spot 1 x n oder m x n Matrix) und weitere Fokusmanipulation (z.B. Multi-Fokus, Besselformung) eingeteilt werden. Bei Bedarf können auch maßgefertigte, kundenspezifische Elemente, die auf die Anforderungen einzelner Anwendungen zugeschnitten werden, angefertigt werden. 

Integrierte Scan-Kits

Mit über 30 Jahren Erfahrung im galvanometerbasierten Laserscannen und in der diffraktiven Optik bieten SCANLAB und HOLO/OR Lösungen an, die ein Scan-System mit einer F-Theta-Optik und DOE als Komponente umfassen können. Dabei wird auch die Laserquelle mit einbezogen, um sicherzustellen, dass präzise Ergebnisse über das gesamte Bildfeld hinweg gewährleistet werden können.