intelliSCAN III 14

intelliSCAN III 10

intelliSCAN III 14

intelliSCAN III 20

intelliSCAN III 30

IIIer-Serie

intelliSCAN III 14

Apertur

14 mm

Winkelgeber Galvanometerscanner

analoger Positionsdetektor

Show Optik

Wellenlängenbereiche
(Standard)

Standard-Coatings für alle gängigen Lasersysteme:
YAG- & Faserlaser,
Laser für den grünen Wellenlängenbereich,
UV Laser,
DUV Laser,
CO₂ Laser

Zusätzlich sind zahlreiche Mehrfach- und Breitbandcoatings, sowie Coatings für Kurzpulsanwendungen und polarisationserhaltende Coatings im Portfolio

Max. Laserleistung
(Standardsysteme, 100% Betrieb)

440 W @ 1064 nm

Typischer Auslenkwinkel

±0,35 rad (opt.)

Bildfeldgröße
(1064 nm, f = 160 mm)

95 mm x 95 mm

Typische Spotgröße
(1064 nm, f = 160 mm, M² = 1,0)

23 µm

Show Dynamik

Anzahl installierter Tunings

bis zu 3

Typisches Tuning

Sharp-Edge-Tuning

Schleppverzug

0,15 ms

Beschriftungsgeschwindigkeit
(f = 160 mm)

2,0 m/s

Positioniergeschwindigkeit
(f = 160 mm)

5,0 m/s

Schreibgeschwindigkeit
(F-Theta-Objektiv, f = 160 mm)

hohe Schreibqualität

480 cps

gute Schreibqualität

680 cps

Sprungantwort (100% Vollausschlag)

1% Vollausschlag

0,45 ms

10% Vollausschlag

3,0 ms

Genauigkeit

Wiederholgenauigkeit
(RMS)

< 2 µrad

Positionsauflösung
(max.)*

18 Bit *

Nichtlinearität

< 0,9 mrad / 44°

Temperaturdrift

Offset

< 15 µrad/K

Gain

< 25 ppm/K

8-Std.-Drift
(nach 30 min.)

Offset

< 100 µrad

Gain

< 100 ppm

24-Std.-Drift
(nach 3 Std.)

Offset

< 100 µrad

Gain

< 100 ppm

* 18 Bit: bezogen auf den vollen Winkelbereich (z.B. Positionsauflösung 2,8 µrad für Winkelbereich ±0,36 rad),
Auflösungen besser als 16 Bit (11 µrad) nur zusammen mit SL2-100-Schnittstelle

Elektrik / Ansteuerung

Regelung Galvanometerscanner

digitale Reglerkarte

Ansteuerschnittstelle
(Alternativen)

digital SL2-100,
digital XY2-100 Enhanced

Erweiterte Diagnosemöglichkeiten

ja (iDRIVE)

Versorgungsspannung

Verfügbare Varianten:
30 V DC, max. 6 A
48 V DC max. 6 A

Mechanik

Scan-Achsen

2-Achsen-System

Gehäusevarianten

Standard: Scan-Kopf
alternativ: Modul (ohne Gehäuse)

Steckerpositionen

Strahleintrittsseite,
alternativ gegenüber Strahlaustritt

Gewicht ohne Objektiv
(Standardgehäuse)

3 kg

Größe (L x B x H)
(Standardgehäuse)

(175 x 118 x 147) mm³

Strahlversatz

16,42 mm

Sonstige Ausstattung

Wasserkühlung

optional

Luftkühlung

optional

Sonstige Spezifikationen

Arbeitstemperatur

25 °C ± 10 °C

Abweichung des Auslenkwinkels

< 5 mrad

Abweichung von der Nullposition

< 5 mrad

Erweiterungen

mit varioSCAN für 3D-Applikationen kombinierbar,
Ansteuerung mit SCANLAB RTC-Karte,
Kameraadapter möglich

Typische Anwendungen

Mikrostrukturierung,
Markieren, Schweißen, Bohren,
Rapid Prototyping,
Rapid Tooling,
Materialbearbeitung in der Halbleiterindustrie,
Processing on the fly