Die neue "se"-Serie von SCANLAB
Die SCANLAB AG erweitert ihre Produktpalette um die neuen intelliSCANse Scan Köpfe mit 10mm und 14mm Apertur. Diese Scan-Köpfe basieren auf den neuen dynAXISse Galvanometer-Scanner mit Digitalencoder. Die neuen intelliSCANse Scan-Köpfe setzen weltweit Maßstäbe für das hochgenaue Scannen mit hohem Durchsatz, wie es in der Fertigung von elektronischen Komponenten und anderen Präzisionsanwendungen notwendig ist.
Sie bieten:
- Herausragende Präzision in der Mikrostrukturierung, einschließlich Displayfertigung und Halbleiterbearbeitung,
- Höchste Dynamik der dynAXISse Galvanometer-Scanner , somit maximaler Durchsatz und maximale Produktivität
- Niedrigste Driftwerte, daher höchste Bearbeitungsgenauigkeit bei sich ändernden Umgebungs- oder Bearbeitungsbedingungen
- Volle Flexibilität der intelliSCAN Scan-Kopf-Serie mit variablen Tunings und verschiedenen Kühl- und Mechanikoptionen
- Bewährte Zuverlässigkeit wie bei allen intelliSCAN Scan-Köpfen.
In den neu entwickelten dynAXISse Galvanometer-Scannern führt die interferometrische Positionsmessung zu herausragender Auflösung und niedrigsten Dither - und Driftwerten. Das von SCANLAB patentierte Design mit extrem geringer Trägheit macht den intelliSCANse 10 zum schnellsten und präzisesten auf dem Markt erhältlichen Scan-Kopf mit 10 mm Apertur. Darüber hinaus bieten die neuen intelliSCANse 10 und intelliSCANse 14 Scan-Köpfe ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis.
